ফ্লো সুইচ VEFS2 সিরিজ
কৃত্রিম বুদ্ধিমত্তা, উচ্চ-পারফরম্যান্স কম্পিউটিং (HPC), স্বয়ংচালিত ইলেকট্রনিক্স, এবং ইন্টারনেট অফ থিংস অ্যাপ্লিকেশন দ্বারা চালিত, সেমিকন্ডাক্টর শিল্প দ্রুত রূপান্তরের মধ্য দিয়ে যাচ্ছে। এই উল্লেখযোগ্য প্রবৃদ্ধি অবশ্য নতুন অপারেশনাল চ্যালেঞ্জও সূচিত করেছে। যেহেতু উত্পাদনের স্কেলগুলি অভূতপূর্ব হারে প্রসারিত হয়, উচ্চ-ঝুঁকির বিশেষ গ্যাস যেমন সিলেন এবং ফসফাইন সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। পাইপলাইন ফেটে যাওয়া, আলগা ফিটিং, সিল ব্যর্থতা, বা অনুপযুক্ত ইনস্টলেশনের কারণে যে কোনও অনিয়ন্ত্রিত গ্যাস লিকেজ দ্রুত একটি গুরুতর নিরাপত্তা ঘটনায় পরিণত হতে পারে, কর্মীদের নিরাপত্তাকে হুমকির মুখে ফেলতে পারে, গুরুত্বপূর্ণ উত্পাদন সরঞ্জামের ক্ষতি করতে পারে এবং ব্যয়বহুল অপরিকল্পিত ডাউনটাইম ঘটাতে পারে। এই পটভূমিতে, VIGOUR এর এক্সেস ফ্লো সুইচ (EFS), এর সম্পূর্ণ মেকানিক্যাল অ্যাকচুয়েশন ডিজাইন এবং ব্যতিক্রমী আল্ট্রা-হাই-বিশুদ্ধতা (UHP) সামঞ্জস্য সহ, বিশেষ গ্যাস সরবরাহ ব্যবস্থার জন্য একটি অপরিহার্য নিরাপত্তা রক্ষাকবচ হয়ে উঠেছে, যার মধ্যে গ্যাস ক্যাবিনেট এবং ভিএমবি-ডাক্টর ওয়ার্ল্ড ওয়ার্ল্ড-অ্যাক্টোয়্যাক্টর ম্যানেজমেন্টস।

VIGOR EFS-এর মূল নকশা নীতি হল অস্বাভাবিক প্রবাহের অবস্থা সনাক্ত করা এবং নির্ভরযোগ্যভাবে সাড়া দেওয়া। যখন একটি ডাউনস্ট্রিম পাইপলাইন ব্যর্থতার ফলে হঠাৎ এবং অত্যধিক প্রবাহ বৃদ্ধি পায় যা প্রাক-নির্ধারিত গুরুত্বপূর্ণ ট্রিপ পয়েন্টকে ছাড়িয়ে যায়, ডিভাইসটি অবিলম্বে একটি প্রতিক্রিয়া সংকেত ট্রিগার করে। এই সংকেতটি বিল্ট ইন রিড সুইচে বৈদ্যুতিক পরিচিতিগুলি খোলার বা বন্ধ করার মাধ্যমে প্রেরণ করা হয়, যা পরে সিঙ্ক্রোনাইজ করা হয় এবং SCADA সিস্টেম বা গ্যাস মনিটরিং সিস্টেমে (GMS) পাঠানো হয়। রিয়েল টাইম সতর্কতা প্রদান করে এবং দ্রুত স্বয়ংক্রিয় প্রতিক্রিয়া সক্ষম করে, এটি সক্রিয় নিরাপত্তা ব্যবস্থাপনাকে সমর্থন করে, সম্ভাব্য বিপদগুলিকে কার্যকরভাবে প্রশমিত করে এবং গ্যাস বিতরণ নেটওয়ার্কের সামগ্রিক নির্ভরযোগ্যতাকে শক্তিশালী করে।
সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলিতে, গ্যাস সিস্টেমের প্রতিটি উপাদান দূষণের সম্ভাব্য উত্স হয়ে উঠতে পারে। এমনকি ক্ষুদ্র কণা, ধাতব অমেধ্য, বা পৃষ্ঠের শোষণ ওয়েফারের গুণমানকে আপস করতে পারে এবং উৎপাদনের ফলন কমাতে পারে। অতএব, VIGOR বস্তুগত বিশুদ্ধতা, পৃষ্ঠের পরিচ্ছন্নতা এবং কর্মক্ষম স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করতে সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের কঠোর মানগুলিকে কঠোরভাবে মেনে চলে।
উপাদান মান পরিপ্রেক্ষিতে, VIGOR একচেটিয়াভাবে 316L স্টেইনলেস স্টিল ব্যবহার করে যা VIM/VAR ডাবল-গলানোর প্রযুক্তির মাধ্যমে উত্পাদিত হয়। এই উন্নত ধাতুবিদ্যার প্রক্রিয়াটি ধাতব অন্তর্ভুক্তি এবং অবশিষ্ট অমেধ্যকে উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস করে, চমৎকার জারা প্রতিরোধের নিশ্চিত করে এবং গ্যাস দূষণের ঝুঁকি হ্রাস করে। পৃষ্ঠ চিকিত্সার জন্য, সমস্ত পণ্য উন্নত ইলেক্ট্রোপলিশিং (EP) এর মধ্য দিয়ে যায়, 5-10 μin এর অভ্যন্তরীণ পৃষ্ঠের রুক্ষতা বজায় রাখে। এই ধরনের একটি মসৃণ, পরিষ্কার অভ্যন্তর গ্যাসের অণুগুলিকে ভিতরের দেয়ালে শোষণ করতে বাধা দেয় এবং কণার বৃষ্টিপাত দূর করে, স্থিতিশীল এবং দূষণ-মুক্ত গ্যাস সরবরাহকে সমর্থন করে।
অধিকন্তু, VIGOR EFS বিভিন্ন অ্যাপ্লিকেশন পরিস্থিতির সাথে মানানসই গুরুত্বপূর্ণ ট্রিপ পয়েন্ট এবং নমনীয় কনফিগারেশন বিকল্পগুলির একটি বিস্তৃত নির্বাচন অফার করে। সাধারণ প্যারামিটার মিলের মাধ্যমে, ব্যবহারকারীরা সহজেই নির্দিষ্ট গ্যাসের ধরন, অপারেটিং চাপের অবস্থা এবং সর্বাধিক অনুমোদিত প্রবাহ হারের উপর ভিত্তি করে সঠিক মডেল নির্ধারণ করতে পারে। এই উচ্চ মাত্রার কাস্টমাইজেশন আধুনিক সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশনে বিভিন্ন অতি-উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাস অ্যাপ্লিকেশনের জন্য সুনির্দিষ্ট এবং নির্ভরযোগ্য ওভার-প্রবাহ সুরক্ষা নিশ্চিত করে।
ফ্লো সুইচ VEFS2 সিরিজ

পণ্য বৈশিষ্ট্য
উচ্চ প্রবাহ অ্যাপ্লিকেশনের জন্য প্রবাহ সুইচ
অনুভূমিক বা উল্লম্ব প্রধান লাইন সঙ্গে উপলব্ধ
ডিভাইসের মাধ্যমে সর্বনিম্ন চাপ ড্রপ
SS 316L স্টেইনলেস স্টীল

প্রযুক্তিগত তথ্য
| প্যারামিটার | স্পেসিফিকেশন |
|---|---|
| উত্স চাপ | ভ্যাকুয়াম থেকে 3500 পিসিগ (241 বার) - 1/2"ভ্যাকুয়াম থেকে 3000 পিসিগ (207 বার) - 3/4"ভ্যাকুয়াম থেকে 2200 পিসিগ (152 বার) - 1" |
| ফ্লো ট্রিপ রেফারেন্স পয়েন্ট | অর্ডার তথ্য দেখুন |
| নির্ভুলতা | ±20% |
| অপারেটিং তাপমাত্রা | -10~175 ডিগ্রি ফারেনহাইট (-23~80 ডিগ্রি) |
| শরীরের উপাদান | SS 316L |
| ইনলেট/আউটলেট সংযোগ | 1/2", 3/4" টিউব ওয়েল্ড / VFS ফিটিং 1" টিউব ওয়েল্ড |
| বাহ্যিক ফুটো হার | <1×10⁻⁹ mbar·l/s He |
| রিড সুইচ টাইপ | SPDT, 3 তার / 2 অবস্থান |
| পাওয়ার রেটিং | 30VDC / 3W সর্বোচ্চ |
| স্যুইচিং কারেন্ট | 0.2A সর্বোচ্চ |
| কারেন্ট বহন করে | 0.5A সর্বোচ্চ |
| প্রাথমিক যোগাযোগ প্রতিরোধ | 0.1 ওহম সর্বোচ্চ |
| তারের দৈর্ঘ্য | 3m |
| ওয়্যার গেজ | 24AWG |
তথ্য অর্ডার

