সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে গ্যাসের বিশুদ্ধতা কতটা গুরুত্বপূর্ণ?
সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ে সাধারণ সম্মতি
অর্ধপরিবাহী উত্পাদনে একটি সুপ্রতিষ্ঠিত ঐকমত্য বিরাজ করে: চিপের কার্যক্ষমতার উপরের সীমাটি ডিজাইনের দ্বারা সংজ্ঞায়িত করা হয়, যখন উৎপাদনের নিম্ন সীমাটি উপাদানের বিশুদ্ধতার উপর নির্ভর করে।
ছবিটি ইন্টারনেট থেকে সংগৃহীত।
একটি একক চিপের পিছনে সম্পূর্ণ গ্যাসের তালিকা
ওয়েফার পরিষ্কার এবং পাতলা{0}}ফিল্ম ডিপোজিশন থেকে শুরু করে এচিং এবং ডোপিং পর্যন্ত, একটি একক 12-ইঞ্চি ওয়েফারের উৎপাদন প্রক্রিয়ায় সিলেন, অ্যামোনিয়া, নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইড, টাংস্টেন হেক্সাফ্লোরাইড, হাইড্রোজেন, এবং আরও বেশি 30 ধরনের প্রক্রিয়া গ্যাস অন্তর্ভুক্ত থাকে। প্রতিটি গ্যাস অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতায় প্রতিক্রিয়া চেম্বারে সরবরাহ করতে হবে।
পিপিবি স্তরে (আর্দ্রতা, অক্সিজেন, কণার পদার্থ) গ্যাস পাইপিংয়ে প্রবেশ করলে তা পাতলা-চলচ্চিত্রের ত্রুটি এবং আন্তঃমুখী দূষণের সূত্রপাত করতে পারে, সরাসরি উৎপাদনের ফলনকে টেনে আনতে পারে। একটি উদাহরণ হিসাবে 3nm প্রক্রিয়া গ্রহণ করে, প্রতিটি পৃথক চিপের মূল্য কয়েকশ মার্কিন ডলার; ফলনের একটি মাত্র 1% ওঠানামা কয়েক মিলিয়ন মূল্যের লাভ মুছে ফেলার জন্য যথেষ্ট।
কেন "উচ্চ বিশুদ্ধতা" যথেষ্ট নয়?
সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের মধ্যে, "উচ্চ বিশুদ্ধতা" "প্রক্রিয়া-প্রস্তুত" এর সমতুল্য নয়। আসল চ্যালেঞ্জ হল বিশুদ্ধতা ধরে রাখা - দূষণ বজায় রাখা-গ্যাসের উৎস থেকে ব্যবহারের বিন্দু (POU) পর্যন্ত পুরো ডেলিভারি পাথ জুড়ে বিনামূল্যে গ্যাস।
এটি অর্জনের জন্য তিনটি মূল সুরক্ষা কাজ করে:
(1) উপাদান নির্বাচন: টিউবিং এবং ভালভ বডিগুলি ভিআইএম+ভিএআর ডাবল রিমেল্টেড 316L স্টেইনলেস স্টীল থেকে তৈরি করা হয় যাতে বেস উপকরণগুলি থেকে মৌলিক আউটগ্যাসিং কম হয়।
(2)সারফেস ফিনিশিং: অভ্যন্তরীণ পৃষ্ঠের রুক্ষতা Ra কণা আনুগত্য এবং আর্দ্রতা শোষণ কমাতে ইলেক্ট্রোপলিশিং (EP) চিকিত্সার সাথে 0.25 μm (10 μin.) এর চেয়ে কম বা সমান।
(3) হারমেটিক সিলিং সততা: হিলিয়াম লিক রেট 1×10⁻⁹ atm·cc/সেকেন্ডের কম বা সমান যাতে বাহ্যিক দূষণের প্রবেশ সম্পূর্ণরূপে বন্ধ করা যায়।
সেমিকন্ডাক্টর গ্যাস ডেলিভারি সলিউশন
VIGOR VUPS Ultra-উচ্চ বিশুদ্ধতা পণ্য লাইন সম্পূর্ণ গ্যাস ডেলিভারি চেইনকে কভার করে যা সেমি স্ট্যান্ডার্ড মেনে চলে, যার মধ্যে VCR মেটাল ফেস-সিল ফিটিং, উচ্চ-বিশুদ্ধতা ডায়াফ্রাম ভালভ এবং দুটি-পর্যায়ের চাপ নিয়ন্ত্রক।
সমস্ত পণ্য একত্রিত করা হয়, পরীক্ষা করা হয় এবং শিপমেন্টের আগে ডাবল-ব্যাগ ভ্যাকুয়াম-ক্লাস 100 ক্লিনরুমে প্যাক করা হয়। গ্রাহকরা যা পান তা নিছক পৃথক ভালভ নয়, বরং একটি সম্পূর্ণ প্লাগ-এবং-অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা নিশ্চিত করার ব্যবস্থা।
VIGOR পণ্যগুলি বিশেষ গ্যাস বিতরণ ব্যবস্থা এবং CVD/PVD গ্যাস সরবরাহ পাইপলাইনে নির্ভরযোগ্যভাবে কাজ করছে অসংখ্য ওয়েফার ফ্যাবগুলিতে, সিলেন, নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লুরাইড এবং বোরন ট্রাইক্লোরাইডের মতো জটিল প্রক্রিয়াজাত গ্যাসগুলির সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ।
সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিং হল দূষক - এর বিরুদ্ধে একটি অন্তহীন রেস এবং VIGOUR এর লক্ষ্য হল এই রেসের জন্য সম্ভাব্য সবথেকে পরিষ্কার সূচনা লাইন নিশ্চিত করা।
